中国药科大学分析测试中心电镜室 苏宝亮
电镜高压系统是电子显微镜主要组成部分之一。高压稳定性的好坏直接影响到电子显微镜的性能。高压电路十分复杂，牵连的有关部分也很广。对高压故障检修，不但要熟悉整体和各部分的结构，还需了解它们之间的关系，以及加高压的工作过程。本文将一例此故障的维修经验总结如下，以供同型号电镜使用者参考。
1 故障现象
正常开机后，抽真空。当真空度达到可加高压要求时，合上镜筒开关，按下READY/OFF 及加速电压选择的按钮。此时两按钮灯不亮，HV/BEAM表指针也不动，电子枪的加速电压无法接上。
2 故障分析
电子显微镜电子枪的加速高压系统电路是由高压振荡电路、高压稳定电路和高压控制电路组成。高压振荡电路的作用是产生电子枪的高压和电子灯丝电压及偏压；高压稳定电路的作用则是稳定、控制高压；高压控制电路主要是起安全保护作用，当电流大于260UA 时，切断高压和灯丝电源。高压系统与CPU、EVAC SEQ 有连锁关系（见图1~3）。
电镜正常工作中，当达到高真空时，EVAC SEQ 会产生一个HVOK 信号，此信号是经KB IF板送入L-KB 板中的PC10 光电藕合器。使PC10光电藕合器的发光二极管导通。当按下READY/OFF 和加速电压选择电压按钮，瞬时产生二个脉冲信号，通过数据线在ICG1 转变为保持信号。此信号从ICE2 的A、B 和C 输入端输入，从ICE2的3、4、5、6 和7 五脚输出，此信号与所选电压相对应。输出信号为“L”电平，导致光电藕合器PC6、PC7 和PC8 中一个输入端导通而工作，从而使HV 板电路所对应高压的继电器RY4、RY5、RY6、RY7 和RY8 中的一个闭合接通，控制高压，产生所选的加速电压。另外，其中ICG1 的16 脚输出“H” 电平， 经非门为“L” 电平， 从而使PC10 光电藕合器工作，因此产生一个HV ON 信号，通过连线到HV 板经RY3 继电器9、10 与1、2 使RY7 继电器闭合，给高压和灯丝电源供电，从而产生高压和灯丝电压，完成加高压过程。所述即为高压系统与CPU、EVAC SEQ 的连锁关系。
以上表明，高压的产生不但与HV 板、HV 箱中的电路有关，而且还与其他板中的高压信号有关。因此，故障牵连电路范围大，许多电路故障都可能造成同类现象。
3 检查与处理
根据故障现象和电路分析，进行如下检测操作：（1）检测HV STB、±15V、40V ；（2）检测各加速高压所对应的RY4、RY4、RY5、RY6、RY7 和RY8 继电器（BMD-201）；（3）将高压电缆杆头从油箱拔出，加高压；（4）检测RY7 继电器（MY4Z-G）工作状态，发现RY7 继电器无动作，发现没有HV ON 信号；（5）检查L-KB 板的光电藕合器PC6、PC7、PC8 和PC10，它们也不工作。进一步检测，发现它们正常以及电路中对应的三极管也完好；（6）根据这些光电藕合器整体都不导通，说明问题出在共同部分。因此，再进一步检测PC10 输入端，结果发现无HVOK 信号输入；（7）按电路查找，此信号来自EVAC SEQ 板。进一步查找检测，发现IC38（7438） 损坏；（8） 更换IC38， 现象消除，仪器恢复正常工作。
参考文献
1 HITACHI，Schematic Diagrams for the Model H-800 Electron Microscope
